医疗真空机组是由真空泵、各种管道、集成传感器、真空计、测量仪、电控系统等一系列配套的真空辅助设备组成,根据主泵的种类而定,按应用范围分为低真空机组、中空泵机组、高真空机组和超高真空机组。
1)低真空机组一般采用直排式真空泵,如容积式往复泵、水环泵、油封机械泵、螺旋真空泵、湿式罗茨泵、喷射泵、分子筛吸附泵等,低真空机组工作压力高、排气量大、真空度高。
2)中真空机组主要由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵和双罗茨真空泵等组合。由于螺旋无油真空泵的广泛应用,无油真空泵如罗茨真空泵+螺杆真空泵也逐渐增多,适用于需要大抽速、得到中真空的各种真空系统中,如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。
高真空机组工作于分子流状态,工作压力范围在10-2~10-6Pa,排量小,抽速大,主泵由扩散泵、分子泵、液力泵、液力泵、液力泵等组成,主要由扩散泵、分子泵、泵等组成,泵的工作压力范围在10-2~10-6Pa。
超高真空机组压力区间为10-6~10-10Pa,主泵的极限真空范围为10-7~10-8Pa,保证在压力范围内保证相应的抽速,对系统组成的材料要求能承受200~450℃高温烘烤并低漏气率与出气率。
真空机组的试验值。
真空机组系统是真空机组中的关键参数,如"真空度(负压或增压)"、"流量"等数据,进行实时监控、自动调节,例如完成"真空保压"、"自动定时停机、起动"定时定量"真空抽滤"等功能控制系统,称为真空系统。